氣冷羅茨往復泵真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實際羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統。機組結構緊湊，使用方便。
根據被抽真空系統的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比在4：1至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統及長時間在低壓入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上安有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現聯動，當滑閥泵停泵時，向泵口充氣，確保滑閥泵內的真空油返回到油箱內，同時防止真空系統不受真空油污染。
氣冷羅茨往復泵真空機組是運用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。中選用作業液來停止潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的旋片真空機組。無作業液時，即為旋片真空機組。
氣冷羅茨往復泵真空機組是由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸入與排出。當設備獲得真空時，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉送到第二級，并經第二級吸入與排出，這樣真空設備可獲得一定的真空。根據用戶使用情況，可配備真空增壓泵，將該泵做為前級泵，由于增壓泵的抽氣力加強，前級泵連續抽除，能使設備獲得更高的真空。
